2、接觸式測厚儀要為機械式測量的需要通過(guò)點(diǎn)與點(diǎn)之間,或面與面后通過(guò)位移差來(lái)測量厚度。
薄膜、薄片厚度測試又該如何去選擇?
1、非接觸式測厚設備對測試試樣都有一定的選擇性,例如激光式測厚儀在適合的領(lǐng)域中能達到較高的測量精度,但用于檢測表面有著(zhù)不同光澤度的試樣時(shí)會(huì )有較大的測試誤差,同樣該方法的測厚儀對試樣是否透明以及材料表面平整度(薄膜表面看似平整,放大后都是呈現一定凹凸)也有著(zhù)比較強的選擇性。電容或電渦流式的測厚儀對金屬及非金屬的測試有著(zhù)較大的誤差??傊?,非接觸式測厚儀都有著(zhù)自己擅長(cháng)的檢測領(lǐng)域,在薄膜和金屬方面測試數據還是不能滿(mǎn)足的。
2、機械式測厚儀是一種接觸式測厚設備,多采用高精度傳感器,因為它的測試只和微小位移有關(guān),所以對試樣沒(méi)有選擇性。按照薄膜厚度國標GB/T6672要求測量面必須保證對薄膜材料表面施加0.1N-0.5N負荷壓力,機械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度,環(huán)境溫度和風(fēng)速會(huì )影響傳感器的精度,因此必須在實(shí)驗室環(huán)境內使用。
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